RTP真空快速退火爐

設(shè)備介紹

        真空RTP退火爐是一款真空度比較高的快速熱處理管式爐，配有石英腔體和真空法蘭，采用鹵素?zé)艏訜?，升溫速度可達(dá)50℃/秒，PID自動控制，30段可編程序，它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計。該高溫退火管式爐可在真空、氣氛環(huán)境下，對樣品進(jìn)行快速熱處理，主要應(yīng)用于院校實驗室、工礦企業(yè)實驗室，如：薄膜沉積，不同材料快速退火、硅化、擴(kuò)散、晶化和致密化等。u9I高溫箱式電阻爐,管式爐,真空退火爐,真空燒結(jié)爐,管式高溫爐-鄭州科佳電爐有限公司

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 鹵素?zé)艏訜?升溫速度快

  加熱元件采用鹵素?zé)艏訜?，升溫速度可達(dá)50℃/秒

• 底部滑軌設(shè)計 實現(xiàn)快速冷卻

  爐子的底部安裝有一對滑軌，可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè)，以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻

• 30段高精度數(shù)字可編程

  30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器，控溫精度高，可達(dá)±1℃

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技術(shù)參數(shù)

處理晶圓尺寸：2英寸		處理晶圓尺寸：4英寸		處理晶圓尺寸：6英寸
爐管外徑	100MM	爐管外徑	110-150MM	爐管外徑	180MM
加熱區(qū)尺寸	200MM	加熱區(qū)尺寸	300MM	加熱區(qū)尺寸	400MM

更多尺寸可根據(jù)客戶需求定制

產(chǎn)品名稱	RTP 快速退火爐
工作溫度	900℃
控 制 器	LED(可選配LCD觸屏)
爐 膛	開啟式 滑道式
爐管尺寸	根據(jù)需求尺寸定制
加熱元件	鹵素?zé)?/span>
升溫速率	≤50℃/S
熱 電 偶	根據(jù)實際需要設(shè)計來配
溫度控制器	30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
特殊要求	具體細(xì)節(jié)可根據(jù)客戶需求定制（詳情歡迎來電咨詢我們） 1、可定制真空系統(tǒng) 2、可定制氣路系統(tǒng) 3、其他特殊工藝需求

 

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河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。

  主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。

鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品！?。?/font>