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RTP快速退火爐
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產(chǎn)品型號：KJ-RTP1000-DZ
主要用途：該定制RTP快速退火爐采用紅外燈管加熱，最快升溫速度為 50°C/秒，是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備，專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。
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可選配置：該爐可配通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會實(shí)時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出。
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設(shè)備介紹
該定制RTP快速退火爐由RTP滑軌管式爐、多通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，專為半導(dǎo)體基片和太陽能電池或其他樣品（尺寸可達(dá)3"）退火而設(shè)計(jì)。這款管式爐是采用紅外燈加熱，升溫速度可達(dá)50℃/秒。 30 段準(zhǔn)確溫度控制，精度為 ±1°C，RS485接口和控制軟件可以通過計(jì)算機(jī)控制爐子運(yùn)行并顯示溫度曲線。該快速熱處理管式爐是CVD法生長大尺寸二維石墨烯的常用設(shè)備，它是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片的退火而設(shè)計(jì)，計(jì)算機(jī)通過RS485口和控制軟件實(shí)時控制爐子和顯示溫度曲線 。
產(chǎn)品優(yōu)勢
加熱速度快采用紅外燈加熱，加熱速度快，升溫速度可達(dá)50℃/秒
溫控精準(zhǔn)控溫系統(tǒng)采用PID方式調(diào)節(jié)，30 段準(zhǔn)確溫度控制，精度為?±1°C
可快速退火爐子的底部安裝有一對滑軌，可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè)，以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快速冷卻
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品名稱 |
定制RTP快速退火爐 |
| 型號 | KJ-RTP1000-DZ |
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第一部分： 管式爐 |
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產(chǎn)品名稱 |
開啟式上下溫區(qū)RTP管式爐 |
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工作溫度 |
≤1000℃ |
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控 制 器 |
LCD觸摸屏 |
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爐管尺寸 |
石英管 外徑80mm/內(nèi)徑72mm 單側(cè)開口 |
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加熱區(qū) |
300mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
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爐型 |
開啟式 |
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加熱元件 |
鹵素?zé)艏訜? |
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升溫速率 |
≤50℃/S |
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測溫元件 |
N型熱電偶 |
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溫度控制器 |
30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器 |
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第二部分 混氣系統(tǒng) |
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量程 |
MFC1：氧氣（O2）0-200sccm MFC2：氬氣（Ar）0-200sccm |
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第三部分 真空系統(tǒng) |
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旋片式真空泵+排氣過濾器+數(shù)字真空表 |
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點(diǎn)；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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