真空熱處理是指熱處理工藝過程的全部或部分在真空狀態(tài)下進行的技術(shù)。實際上，是把真空當(dāng)作一種純度較高的積極護氣體，能有效地防止工件在高溫下發(fā)生氧化、脫碳反應(yīng)，提高工件的熱處理表面質(zhì)量，改進熱處理效果。

目前真空熱處理爐已用于退火、淬火、回火、滲碳、滲氮、滲金屬及其他表面硬化、表面合金化等工藝中。在淬火方法中已實現(xiàn)了氣淬、油淬、水淬、硝鹽淬火等。

在真空條件下，金屬材料的熱處理，與在常壓下的行為有著顯著區(qū)別，真空熱處理爐在真空中加熱，概括起來有如下三個特點：

1、防止氧化的作用：

在常壓下的空氣中加熱，金屬要被氧化或脫碳，而在高真空中加熱，因為氣氛的活化能極低，氣-固界面反應(yīng)進行的特別緩慢，無論是氧化、還原、滲碳或脫碳等任何反應(yīng)，均不會進行到有不利影響的程度；高真空下，氣體體積的增大變化得非常迅速，可導(dǎo)致固體金屬中的氣體向外逸出，或使金屬氧化物發(fā)生分解，從而可以防止金屬的氧化。

2、金屬表面附著物的清除及脫脂作用：

金屬表面的附著物大多泛指氧化皮而言，高真空下，或者當(dāng)氧分壓低于金屬表面氧化物的分解壓力時，金屬氧化物會發(fā)生分解，從而起到清潔金屬表面氧化物的作用。

3、蒸發(fā)作用：

在常壓下，金屬采用普通熱處理工藝加熱，不會引起它的合金元素的蒸發(fā)，而在真空熱處理時這個作用卻不可忽視。常用的合金元素，如Zn，,Mg，Mn，Al，Cr等的蒸氣壓較高，易蒸發(fā)，易造成零件表面這類合金元素的貧化，從而使合金的組織變化，力學(xué)性能下降。因此要選擇合適的真空度，甚至在爐內(nèi)充惰性氣體，提高爐壓，降低真空度。

真空熱處理技術(shù)除了具有以上三個方面的特點以外，往往還具有處理工件無氫脆危險，防止鈦和難溶金屬表面脆化，淬火變形小，節(jié)省能源，工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性好，生產(chǎn)成本低，耗電少，能量消耗為常規(guī)熱處理的50%，操作安全，自動化程度高，工作環(huán)境好，無污染，無公害等一系列顯著優(yōu)點。