獲取報價
即刻留言 
添加微信咨詢報價服務(wù)熱線
177-3714-9370
當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 電爐附件 > 真空/供氣系統(tǒng)
4路質(zhì)子流量計
產(chǎn)品型號：4路質(zhì)子流量計
主要用途：可用于搭建CVD系統(tǒng)，也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境。
圖片點擊可放大
一、概述
1．氣體從鋼瓶出來，經(jīng)過減壓閥減壓，通過四氟管到供氣系統(tǒng)的入口，再經(jīng)過質(zhì)子流量計控制氣體流量，然后經(jīng)過混氣罐，再進入爐子進氣口，氣體從出氣管出來，經(jīng)過三通閥門，一端連接真空泵，一端連接出氣口。
2．混氣罐上接有壓力表，壓力表顯數(shù)盤與質(zhì)子流量計安裝在同一面板上。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
4．該氣路采用高精度氣體浮子流量計，氣路內(nèi)部全采用四氟管，耐腐蝕性好。
5．所有接頭采用卡套連接，氣密性好，耐壓高。
二、技術(shù)參數(shù)：
氣路通道： 4
氣路流量控制：質(zhì)子流量控制器。
接 口： Φ6
顯 示： LED
工作環(huán)境溫度: 5~45℃
流量控制器： 質(zhì)子流量控制器（詳細技術(shù)參數(shù)請查看后面）
四氟管：Φ6外XΦ4內(nèi)
壓力真空表 ：－0.1～0.15 MPa , 0.01 MPa/格
截 止 閥：Φ6
三、供氣系統(tǒng)內(nèi)部壓力不能過大，不然容易造成漏氣，只要氣體能正常流出來即可。
四、供氣系統(tǒng)的配置：
1、質(zhì)子流量計：4個
2、壓力表：1個
3、截止閥門：5個
4、穿板接頭：5個
5、閥門接頭：2個
6、鋼瓶接頭: 4個
7、聚四氟乙烯管：20M
8、混氣罐：1個
9、爐架：1臺
質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)：質(zhì)子流量控制器普通型，模擬電路，橡膠密封，管狀分流，不易堵塞。
主要指標:
量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM（你可以任意選擇量程）
- 準確度：±1.5% F.S
- 線性：±0.5～1.5% F.S
- 重復(fù)精度：±0.2% F.S
- 響應(yīng)時間：10S
- 氣壓降：<0.01MPa
- 最大壓力：3MP
- 工作環(huán)境溫度：5～45℃
- 輸入輸出信號：0～+5.00V
- 電源：+15V 50mA -15V 50mA
- 外形尺寸：158*30*110
在線留言
報價清晰 材料透明 省錢省心留言獲取報價單。一鍵提供設(shè)備報價、方案設(shè)計等服務(wù)，我們將第一時間給予回復(fù)！
聯(lián)系我們
河南鴻爐機械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的高新技術(shù)企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供上門服務(wù)(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。