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PECVD旋轉(zhuǎn)管式爐
產(chǎn)品型號：KJ-TX1100-S50LK1
主要用途：適用于粉體材料的表面薄膜沉積，在大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應用。
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設(shè)備介紹
PECVD旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)適用于粉體材料的表面薄膜沉積。系統(tǒng)由高功率射頻電源（500W，13.56MHz）、真空系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)管式爐組成。該設(shè)備是為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，環(huán)境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化，從而大大提高了反應物的活性，這些具有反應活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學反應沉積生成薄膜，因此這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法。PECVD淀積的薄膜具有良好的電學性能、良好的襯底附著性以及非常好的臺階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點使其在大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應用。
產(chǎn)品優(yōu)勢
成品質(zhì)量好PECVD具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好、針孔較少、不易龜裂等優(yōu)點
爐管可旋轉(zhuǎn)爐管采用定制變徑爐管，管壁內(nèi)帶有石英撥料臺，讓物料受熱更充分。爐管360℃旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)
可通保護氣氛法蘭上帶有進出氣旋轉(zhuǎn)接頭，可以通入氮氣、氬氣等惰性保護氣體，可在氣氛環(huán)境下使用
安全防護功能安全防護，具有超溫保護功能，當溫度超過允許設(shè)定值后，自動報警保護功能，操作安全可靠
沉積效果好等離子體化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜
智能多段PID可編程溫控系統(tǒng)采用PID智能化程序控溫，自整定功能并可編制多段升降溫程序
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | PE旋轉(zhuǎn)管式爐 |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-TX1100-S50LK1 |
| 爐膛材料 | 爐膛采用氧化鋁多晶纖維 |
| 爐管尺寸 | 兩端直徑約Φ30mm，中間尺寸Φ50mm 總長約1200mm （其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 加熱區(qū) | 200mm（其他尺寸可根據(jù)客戶需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 石英爐管 |
| 工作溫度 | ≤1000℃ |
| 最高溫度 | 1100℃ |
| 加熱元件 | 合金加熱絲 |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 加熱速率 | 建議10℃/min，可根據(jù)實驗工藝進行調(diào)節(jié) |
| 溫度測試元件 | N型熱電偶 |
| 控溫系統(tǒng) | 采用智能化多段PID可編程控制 溫度控制系統(tǒng)采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有 PID 調(diào)節(jié)、自整定功能并可編制多段升降溫程序； 1、采用PID 方式調(diào)節(jié)控溫，可設(shè)置多段升降溫程序 2、控溫精度±1ºC 3、具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷 4、儀表具有溫度自整定的功能 |
| 密封方式 | 采用磁流體和真空法蘭的密封方式，密封效果更好 |
| 旋轉(zhuǎn)速率 | 15rpm/min 可調(diào) |
| 旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu) | 旋轉(zhuǎn)方式，爐管可以360℃旋轉(zhuǎn)，爐體可傾斜 |
| 真空系統(tǒng) | 1、采用旋片真空泵,冷態(tài)極限真空度可達10Pa，真空泵含粉塵過濾器 2、KF快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連； 3、數(shù)顯真空計顯示 |
| 等離子電源系統(tǒng) | 功率范圍 0-500W（連續(xù)可調(diào)） 工作頻率 13.56MHZ+0.005% 工作模式 連續(xù)輸出 冷卻方式 風冷 |
| 售后服務 | 12個月質(zhì)保、終身保修（加熱元件、爐管等隨機贈送配件不屬于質(zhì)保范圍） |
| 注意事項 | 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，使用時會更加精確安全 · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 不得通入氯化物、硫化物等易腐蝕性氣體，易造成法蘭等不銹鋼件的損壞 對于樣品加熱的實驗 不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。 若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù) 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
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