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CVD管式爐
產(chǎn)品型號：KJ-TCVD1200-S50CK1
主要用途：該CVD管式爐適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、材料的氣氛燒結(jié)等實驗。主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實驗與生產(chǎn)。
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設(shè)備介紹
此款CVD氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為≤1100℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng)，高精度控溫，出色的氣體流量精度，易于操作，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。該CVD管式爐適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、材料的氣氛燒結(jié)等實驗。主要用于大學(xué)，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實驗與生產(chǎn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
高純氧化鋁纖維爐膛發(fā)熱元件采用優(yōu)良電阻絲，爐膛采用陶瓷纖維材料，保溫性能好，抗拉強(qiáng)度高，無雜球，純度高，節(jié)能效果明顯
雙層外殼結(jié)構(gòu) 配備冷風(fēng)系統(tǒng)雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風(fēng)扇，爐殼溫度始終保持在安全范圍內(nèi)，上開啟打開爐門，操作方便
PID智能溫控系統(tǒng)內(nèi)置PID自動調(diào)節(jié)功能，具有過熱和斷開熱電偶斷開保護(hù)； 超溫保護(hù)和報警
技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備名稱 | CVD管式爐 |
| 設(shè)備型號 | KJ-TCVD1200-S50CK1 |
| 最高溫度 | 1200 ℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 顯示 | 觸摸屏 |
| 爐管尺寸 | 外徑50mm，總長度600m（其他尺寸可按需求定制） |
| 管材 | 石英 |
| 熱區(qū)長度 | 200mm（單溫區(qū)） （其他尺寸可按需求定制） |
| 加熱元件 | 電阻絲 |
| 加熱速率 | 0-10℃/min |
| 溫度控制 |
● 30個可編程段，用于控制加熱速率、冷卻速率和停留時間。 ● 內(nèi)置PID自動調(diào)節(jié)功能，具有過熱和熱電偶損壞保護(hù)功能。 ● 超溫保護(hù)和報警 |
| 熱電偶 |
N型 |
| 溫控精度 | ±1℃ |
| 爐體材質(zhì) | 爐體整體不銹鋼，下箱碳鋼 |
| 爐膛結(jié)構(gòu) |
雙層鋼制外殼，帶雙冷卻風(fēng)扇 |
| 真空法蘭 | 不銹鋼密封水冷法蘭 |
| 供氣系統(tǒng) | |
| 1通道質(zhì)子流量計： | 氣路：一路氮氣 流量控制：觸屏控制（選配） |
| 真空泵+真空計系統(tǒng) | |
| 真空泵+真空計 | 旋片泵，極限真空度達(dá)到10Pa（冷卻狀態(tài)） |
| 壓力表 | 機(jī)械壓力表 |
CVD管式爐工廠實拍圖
注意事項：
1、設(shè)備爐膛溫度≥200℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；
2、設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.02MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞；
3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)；
4、在對樣品加熱時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，絕對壓力表讀數(shù)不要大于0.02MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。
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河南鴻爐機(jī)械有限公司是一家專業(yè)從事電爐產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售的企業(yè)。我公司產(chǎn)品具有升溫快、節(jié)能、溫控精度高、保溫性能好、微電腦控制、可編程全自動升溫降溫、爐壁溫度接近室溫、使用壽命長等特點；產(chǎn)品型號達(dá)到上百種，并可根據(jù)客戶需求定制各式爐型，以滿足高校、科研院所和工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、氣氛還原和質(zhì)量檢測之用，廣泛應(yīng)用于陶瓷、化工、電子、冶金、新材料開發(fā)、機(jī)械、耐火材料、建材、特種材料等領(lǐng)域的實驗和生產(chǎn)，受到廣大新老用戶的一致好評。
主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品?。。?/font>
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