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化學氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：KJ-TCVD1200-S80LK1
主要用途：適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。
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設備介紹
此款CVD氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1200℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用了溫度控制系統(tǒng)，出色的氣體流量精度，易于操作，有非常好的隔熱效果和溫度均勻性。該CVD管式爐適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。主要用于大學，研究中心和生產(chǎn)企業(yè)進行氣相沉積相關的實驗與生產(chǎn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
智能控溫智能PID控制，多段可編程控溫和自整定功能，多段"時間—溫度曲線"任意可設
氣密性好可重復拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便，密封性好，可抽真空通多種氣氛
上開啟式結(jié)構(gòu)雙層殼體上開啟結(jié)構(gòu)，取放爐管方便，裝有風冷系統(tǒng),爐子外殼溫度保持安全范圍
技術參數(shù)
| 產(chǎn)品名稱 | 化學氣相沉積系統(tǒng) |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-TCVD1200-S80LK1 |
| 管式爐部分 | |
| 爐膛模式 | 開啟式 |
| 顯示模式 | LED |
| 爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 | 合金電阻絲 |
| 極限溫度 | 1200℃ |
| 工作溫度 | ≤1100℃ |
| 升溫速率 | 0-10℃/min |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū) |
| 溫區(qū)長度 | 440mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
| 爐管外徑 | 80mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 爐管長度約 | 1000mm（其他尺寸可按客戶需求定制） |
| 密封方式 | 可重復拆裝的不銹鋼密封法蘭。拆裝方便，密封性好 |
| 控制模式 | 智能PID控制，具有多段可編程控溫和自整定功能 |
| 溫度曲線 | 多段"時間—溫度曲線"任意可設 |
| 報警：有超溫和斷偶報警 | |
| 測溫元件 | N型熱電偶 |
| 供氣系統(tǒng) | |
| 流 量 計 | 三路質(zhì)量流量計（量程可根據(jù)需要選擇） |
| A路量程 氮氣 | 0～1000SCCM |
| B路量程 甲烷 | 0～500SCCM |
| C路量程 乙烯 | 0～1000SCCM |
| 混氣 | 內(nèi)含一個精密混氣罐 |
| 真空系統(tǒng)(含不銹鋼波紋管和相關連接配件) | |
| 真空泵抽速 | 2L/S抽速的機械旋片泵、波紋管及相關連接件，極限真空可實現(xiàn)10pa |
| 數(shù)顯真空計 | 數(shù)顯電阻真空計集成在可移動供氣系統(tǒng)箱體上 |
| 測量路數(shù) | 1路 |
| 顯示方式 | LED數(shù)字顯示 |
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主要產(chǎn)品有箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐等標準及非標實驗電爐和工業(yè)電爐，并提供各類電爐配件、加熱元件及耐火材料。
鴻爐鄭重承諾：每臺電爐出廠前均經(jīng)過嚴格的質(zhì)量檢測以及高溫測試，為客戶提供放心可靠的產(chǎn)品！?。?/font>
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